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放大器部分(驅動電路部分)內置于檢測單元中,使其價格低廉且緊湊。
可以以較低的成本構建過去昂貴的靜電監測系統。
可以通過開關改變測量范圍,并且可以進行從低電位到高電位的廣泛測量。
它配備了檢測傳感器的故障指示 LED,可以輸出到外部。
平板顯示器生產過程中的電荷監控。
半導體晶圓電荷監測。
LSI 處理和 PCB 運輸期間的電荷監控。
型 | KS-2100型 |
---|---|
檢測方法 | 振動表面電位傳感器 |
測量范圍 | 范圍(1) ±1~±2000V |
范圍(2) ±0.01~±20.00kV | |
模擬輸出 | 0~±5V |
測量精度 | ± 10% 以內 |
測量參考距離 | 范圍 (1) 10mm |
范圍 (2) 50mm | |
報警 | 檢測傳感器故障 LED 指示,外部輸出 |
權力 | 直流12~24V±5% |
環境 | 溫度 0~40°C,濕度 65%RH 以下(無結露) |
質量 | 約 100 克(不包括電纜) |
附屬品 | 專用電纜 5 m(最長可達 100 m) |
日本進口KASUGA春日電機寬電位傳感器KS-2100
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